978-620-0-32523-5

Физико-химические основы проектирования микро- и наноэлектроники

Regular price
€74,90
Sale price
€74,90
Regular price
Sold out
Unit price
per 
Shipping calculated at checkout.

Summary:

Рассмотрены теоретические основы чистых помещений, фильтрация воздуха, системы кондиционирования воздуха для чистых помещений, микроклимат производственных помещений, вентиляция производственных помещений, освещение производственных помещений, а также аттестация, эксплуатация и проектирование чистых помещений для микроэлектронной промышленности. Представлены контрольные вопросы. Рис. 41. Табл. 28. Библиогр.: 24 назв.

Author:

Алёна Кадомцева

Biographie:

Защитила диссертацию на соискание ученой степени кандидата химических наук по специальности 02.00.04 «Физическая химия» на тему «Кинетика каталитического восстановления тетрахлорида германия водородом» (2015).

Number of Pages:

276

Book language:

Russian

Published On:

2019-09-26

ISBN:

978-620-0-32523-5

Publishing House:

LAP LAMBERT Academic Publishing

Keywords:

теоретические основы чистых помещений, фильтрация воздуха, системы кондиционирования воздуха для чистых помещений, микроклимат производственных помещений, вентиляция производственных помещений, освещение производственных помещений, а также аттестация, эксплуатация и проектирование чистых помещений для микроэлектронной промышленности

Product category:

SCIENCE / Chemistry / General